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參數(shù) | Z平臺(tái)可提供5、10、25或50μm的運(yùn)動(dòng)范圍 | | |
PIEZOCONCEPT 1軸控制器產(chǎn)品參數(shù)介紹
Z-STAGE是一款緊湊型Z直驅(qū)納米定位器,具有高速性能。
它可以與具有66×66 mm孔徑的2軸納米定位器(LF2/LFHS2)結(jié)合,以獲得SPM3或SPM3LR。Z平臺(tái)可提供5、10、25或50µm的運(yùn)動(dòng)范圍。
該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(可提供高功率控制器)
1軸控制器
Z-STAGE通常與1軸控制器一起使用,但如果與LT2、LF2或其他壓電級(jí)結(jié)合,則可以與2軸或3軸控制器一起。
LFHS2是一款 2 軸超高速納米定位器,沿 X 軸和 Y 軸的行程范圍高達(dá) 75μm,具有 66mm x 66mm 的大孔徑和高于 2kHz 的兩軸諧振頻率。
如果需要,它還可提供集成的Z軸(50μm行程范圍)(參見(jiàn)3軸型號(hào)LFHS3)。
該壓電級(jí)可以與粗定位的微載物臺(tái)結(jié)合使用(參見(jiàn)我們的混合系統(tǒng))。
該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(提供高功率控制器)。使用高功率控制器可以實(shí)現(xiàn)高速掃描和短于2ms的步進(jìn)響應(yīng)時(shí)間。
PIEZOConCEPT LFHS2.30
PIEZOConCEPT LFHS2.50
PIEZOConCEPT LFHS2.75
PIEZOConCEPT BIO3.100
PIEZOConCEPT BIO3.200
PIEZOConCEPT BIO3.300
PIEZOCONCEPT 1軸控制器產(chǎn)品參數(shù)介紹